用于測(cè)量半導(dǎo)體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。 主體采用了耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿PFA樹(shù)脂。

以微小范圍內(nèi)的流量控制為目的而開(kāi)發(fā)的流量控制器。 具備流量調(diào)整、瞬時(shí)流量顯示、外部輸出等多種功能。

從外部流量計(jì)接收當(dāng)前流量信息并自動(dòng)控制設(shè)定流量。 非常適合控制半導(dǎo)體清洗設(shè)備中化學(xué)品和純水的流速。

利用了在障礙物的后方產(chǎn)生的卡爾曼渦流的發(fā)生周期，根據(jù)流量變化的流量計(jì)。簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)，耐久性高，價(jià)格低。

通過(guò) PFA 葉輪的旋轉(zhuǎn)來(lái)測(cè)量流量。價(jià)格合理，測(cè)量原理簡(jiǎn)單。是出貨記錄第一的機(jī)型。

全部為PFA材質(zhì)的面積式流量計(jì)。可對(duì)應(yīng)強(qiáng)酸強(qiáng)堿且流動(dòng)可見(jiàn)。